Dodávka univerzálního multifunkčního depozičního zařízení s diagnostikami pro projekt NTIS

Západočeská univerzita v Plzni

Předmětem veřejné zakázky je dodávka jednoho kusu depozičního zařízení pro řízenou přípravu tenkovrstvých materiálů s různými diagnostikami skládajícího se z následujících částí:
— hlavní depoziční komora (mezní tlak 10-5 Pa) o průměru 55 až 61 cm a výšce 43 až 46 cm, vakuový čerpací systém, čtyři plazmové magnetronové zdroje (průměr terče 5 cm), jeden kruhový magnetron (průměr terče 10 cm) s nastavitelným magnetickým polem, hmotnostní filtr klastrů, měření tlaku pracovního plynu, držák substrátů o průměru 10 cm s možností rotace, ohřevu do 850°C a záporného předpětí, systém pro výměnu vzorků bez zavzdušnění depoziční komory (load-lock), přívod pracovních plynů pro nezávislé řízené napouštění až čtyř plynů do depoziční komory, řízené elektrické zdroje pro činnost všech magnetronů (vysokovýkonový unipolární pulzní zdroj, duální pulzní zdroj s opakovací frekvencí až 350 kHz pro dvojici magnetronů, stejnosměrný kontinuální zdroj a dva radiofrekvenční zdroje), elektrické sondy pro měření napětí a proudu elektrických zdrojů s USB osciloskopem, chladicí systém a řídicí systém depoziční aparatury.
Dále jsou součástí zařízení následující systémy pro diagnostiku výbojového plazmatu a tenkovrstvých materiálů během jejich vytváření a počítačové řízení experimentů: Monitor tloušťky rostoucí vrstvy, systém pro časově a prostorově rozlišenou optickou emisní spektroskopii, systém Langmuirovy sondy s prostorovým a časovým rozlišením, systém pro chromatografická měření, analyzátor procesního plynu a softwarové a hardwarové vybavení pro počítačové řízení experimentů. Předmět veřejné zakázky musí být vybaven plnohodnotným softwarem. Nedílnou součástí předmětu plnění je dodání předmětu plnění do místa plnění, instalace a montáž, kalibrace a uvedení do provozu včetně prověření bezchybné funkčnosti, technické dokumentace a uživatelských příruček a zaškolení obsluhy zadavatele. Bližší informace a podrobná specifikace předmětu plnění jsou uvedeny v zadávací dokumentaci, která bude jako celek uveřejněna na profilu zadavatele k předmětné veřejné zakázce.

Termín
Lhůta pro podání nabídek byla 2014-02-12. Veřejná zakázka byla zveřejněna na 2013-12-27.

Dodavatelé
V rozhodnutích o udělení zakázky nebo v jiné zadávací dokumentaci jsou uvedeni tito dodavatelé:

• • MIT, spol. s r. o.

Kdo?

• • Západočeská univerzita v Plzni

Cože?

• • Laboratorní, optické a přesné přístroje a zařízení (mimo skel)

Kde?

• • Jihozápad › Plzeňský kraj