Dodávka vakuového depozičního systému
Předmětem veřejné zakázky je vakuový depoziční systém, který bude obsahovat čerpání pro dosažení vakua řádu jednotek 10-7 mbar či lepší, měření vakua, kontrolní systém, systém pro práci v definované atmosféře, měření in-situ tloušťky připravovaných tenkých vrstev, zařízení pro výměnu substrátů, systém pro instalaci substrátů s kontrolou teploty substrátů (a jejich ohřevem), subsystém pro dosažení dostatečné tloušťkové homogenity vrstev. Depoziční systém bude umožňovat naprašování, termické napařování, přípravu materiálů elektronovým svazkem a pulzní laserovou depozici.
Termín
Lhůta pro podání nabídek byla 2014-09-16.
Veřejná zakázka byla zveřejněna na 2014-07-25.
Kdo?
Cože?
Kde?
Historie zadávání veřejných zakázek
| Datum |
Dokument |
| 2014-07-25
|
Oznámení zadávacího řízení
|
| 2014-08-28
|
Dodatečné informace
|
| 2014-09-24
|
Dodatečné informace
|
| 2014-10-20
|
Dodatečné informace
|