Zařízení pro chemické a termální procesy
Předmětem této zakázky je dodávka zařízení pro chemické a termální procesy. Zakázka má 2 části:
1) Zařízení pro přípravu tenkých vrstev a struktur v čisté laboratoři. Předmětem této části zakázky je dodávka systému navrženého speciálně pro teplotní procesy aplikované na polovodičové struktury na křemíkových substrátech (SiD). Zařízení musí být schopno provádět procesy při redukovaném tlaku (low pressure / metal oxide CVD) a procesy atmosférické, v obou případech s přídavkem procesních plynů. Předmět zakázky bude jako celek komunikovat s plynovým hospodářstvím na základě elektroniky. Zařízení bude obslouženo jak z hlediska procesů, tak z hlediska bezpečnosti práce s nebezpečnými látkami. Procesy pro obsluhu nebezpečné budou systémem automatizovány. Teplotní systém bude disponovat vodním chlazením a budou do něj zařazeny i příruby reaktoru. Celý systém bude řízen řídicím počítačem (tzv. procesním supervizorem) a licencovaným softwarem. Podrobná specifikace požadavků na zařízení je uvedena v části 3.1 zadávací dokumentace. Nabídka uchazeče musí splnit všechny jednotlivé požadavky kladené na předmět zakázky. V nabídce uchazeč uvede, zda příslušný požadavek splňuje a současně uvede konkrétní hodnotu nabízeného zařízení;
2) Zařízení pro chemické nanášení keramických vrstev z par prekurzorů. Předmětem zakázky je kombinované zařízení pro nanášení vícesložkových keramických vrstev z organokovových prekurzorů metodou MOCVD při teplotách do 1 100 °C s následným reakčním slinováním s vrstvami nanášenými metodou CVD při 1 600 °C. Zařízení je složeno ze dvou jednotek – nízkoteplotní MOCVD jednotky pracující při programovatelné teplotě v rozmezí 20 až 1 100 °C a vysokoteplotní slinovací CVD jednotky pracující při programovatelné teplotě v rozmezí 100 až 1 600 °C. Obě jednotky musí umožňovat práci za vakua a v řízené atmosféře. Teplota, tlak i složení atmosféry musí být řízené digitálně nejlépe prostřednictvím PC. Podrobná specifikace požadavků na zařízení je uvedena v části 3.2 zadávací dokumentace. Nabídka uchazeče musí splnit všechny jednotlivé požadavky kladené na předmět zakázky. V nabídce uchazeč uvede, zda příslušný požadavek splňuje a současně uvede konkrétní hodnotu nabízeného zařízení. Dodavatel je oprávněn podat nabídku na jednu libovolnou část zakázky nebo na obě části zakázky současně.
Termín
Lhůta pro podání nabídek byla 2014-09-30.
Veřejná zakázka byla zveřejněna na 2014-08-06.
Dodavatelé
V rozhodnutích o udělení zakázky nebo v jiné zadávací dokumentaci jsou uvedeni tito dodavatelé:
Kdo?
Cože?
Kde?
Historie zadávání veřejných zakázek
| Datum |
Dokument |
| 2014-08-06
|
Oznámení zadávacího řízení
|
| 2015-01-21
|
Oznámení o zadání zakázky
|
| 2015-02-25
|
Dodatečné informace
|