Zařízení pro leptání pomocí iontů (Ion Beam Etching)
Předmětem zakázky je dodávka zařízení pro leptání materiálů pomocí svazků iontů (ion beam etching). Zařízení se skládá z procesní komory a nezávisle čerpané zakládací komory a je vybaveno odpovídajícím čerpacím systémem. Systém je vybaven iontovým zdrojem o průměru minimálně 15 cm a neutralizérem, automatizovaným držákem vzorků zabezpečující rotaci a náklon, systémem automatizovaného napouštění plynů. Dodávka obsahuje hmotnostní spektrometr pro detekci konce leptání. Ovládací program obsahuje sadu receptů pro leptání běžných materiálů. Podrobná technická specifikace a další požadavky zadavatele jsou uvedeny v zadávací dokumentaci. Zadávací dokumentace je v plném rozsahu dostupná na profilu zadavatele
https://www.egordion.cz/nabidkaGORDION/profilVut pod ID 645.
Termín
Lhůta pro podání nabídek byla 2014-09-02.
Veřejná zakázka byla zveřejněna na 2014-07-09.
Kdo?
Cože?
Kde?
Historie zadávání veřejných zakázek
| Datum |
Dokument |
| 2014-07-09
|
Oznámení zadávacího řízení
|
| 2014-07-24
|
Dodatečné informace
|
| 2014-08-18
|
Dodatečné informace
|
| 2014-10-17
|
Dodatečné informace
|